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原子力显微镜

发布日期:2014-10-11   浏览次数

设备名称

原子力显微镜

 

型号

Dimension 3100

国别厂家

Veeco公司

购置日期

2008年11月

安置地点

信息楼实验东楼102

主要附件

技术指标

(1) 薄膜样品表面形貌测试,观测样品表面起伏粗糙度,同时可以获得样品形貌的二维和三维信息,最大测试范围:90um×90um×6um;最大分辨率:0.2nm;

(2) 观测室温下磁性材料表面磁畴分布;

(3) 观测室温下样品表面的电场分布;

(4) 实现样品表面电流分布成像和定点I-V谱检测,横向分辨率:15-20nm;电流分辨率:1pA-1uA。

应用范围

(1) 薄膜样品表面形貌测试;

(2) 磁力显微镜(MFM);

(3) 静电力显微镜(EFM);

(4) 扫描电容显微镜(SCM);

(5) 扫描扩展电阻显微镜(SSRM);

(6) 导电原子力显微镜(CAFM);

应用范围

原子力显微镜是获得样品表面原子级形貌图像的有效手段,所能研究测量的材料涵盖金属、陶瓷、半导体、超导体、磁性材料、合金材料等等。但需材料的表面具有较高的平整度。

联系人

唐晓东:xdtang@sist.ecnu.edu.cn
张媛媛:54345489,yyzhang@ee.ecnu.edu.cn